Александр Будянский (1956-2002) - Харьковский национальный университет им. В.Н. Каразина

Био (некролог в Вестнике ХНУ) Письмо ректору Письмо от кафедры Home Воспоминания Фотоальбом

 

Список трудов Будянского А.М.

1. Будянский А.М., Фареник В.И., Яцков А.П. Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления. // Технология и конструиро–вание в электронной аппаратуре. – 2001. – №5.

2.      Будянский А.М., Фареник В.И., Яцков А.П. Влияние нелинейного импеданса ВЧЕ– разряда на работу автоматических согласующих устройств. // Вестник Харьковского политехнического университета. – 2001. – №5. – С.44–48.

3.      Фареник В.И., Будянский А.М. и др. Патент РФ №1573896 от 28.06.1993 г.

4.      Фареник В.И., Будянский А.М. и др. Патент РФ №1428167 от 28.06.1993 г.

5.      Фареник В.И., Будянский А.М. и др. Патент РФ №1360245 от 28.06.1993 г.

6.      Фареник В.И., Зыков А.В., Будянский А.М. Патент РФ №1570549 от 28.06.1993 г. Патент Украины №2426 від 15.02.1994 р.

7.      Бизюков А.А., Будянский А.М., Кошаба А.Е., Середа Н.Д. Ионно-плазменная обработка кремния и сапфира. // V Международная конференция по физике и технологии тонких пленок. Ивано-Франковск. – 1995. – С. 116.

8.      Budyansky A.M., Zykov A.V. RF Inductively Coupled Low-Energy Ion Source.// ICOPS` 95 International Conference on Plasma Sources. Vancouver (Canada). –1995.

9.      Budyansky A.M., Zykov A.V. Static Current-Voltage Characteristics for Radio-Frequrncy Induction Discharge. // ICOPS` 95 International Conference on Plasma Sources. Vancouver (Canada). –1995.

10.  Будянський О.М. Оптимізація систем іонно–променевого та плазмово-хімічного травлення на базі високочастотного розряду. // Автореферат канд. техн. наук. Харків. – 1997. – С. 20.

11.  Будянский А.М., Зыков А.В., Фареник В.И. Зондовый контроль процессов вакуумно-плазменного травления в технологии микроэлектроники. // Вісник Харківського державного університету. Серія фізична «Ядра, частинки, поля». – 1999. – № 443. – Вип 2(6). – С. 77-85.

12.  Маишев Ю.П., Фареник В.И., Будянский А.М., Дудин С.В., Зыков А.В., Положий К.И., Данилов Н.Г. Исследование высочастотного индук­ционного разряда низкого давления для создания широкоапертурных источников ионов с высокой однородностью тока пучка. // Труды ФТИАН. – 1999.– Т. 15, С. 33 – 59.

13.  Маишев Ю.П., Фареник В.И., Шевченко А.В., Будянский А.М., Дудин С.В., Зыков А.В. Специфика диагностики параметров плазмы элек­трическими зондами в процессах ионно-лучевого и плазмохи­ми­ческого травления. // Труды ФТИАН, – 1999. – Т. 15. – С.86 – 116.

Био (некролог в Вестнике ХНУ)

Письмо ректору Письмо от кафедры

Home

Воспоминания

Фотоальбом

©2004 by Steven Duplij