Александр Будянский (1956-2002) - Харьковский национальный университет им. В.Н. Каразина

Письмо от кафедры физических технологий

А.М. Будянский приступил к работе в отраслевой научно-исследовательской лаборатории диагностики плазменных технологических процессов кафедры физики плазмы ХГУ в конце 1980 года. Диплом с отличием кафедры теоретической ядерной физики физико-технического факультета, учеба в аспирантуре на той же кафедре по направлению школы Д.В. Волкова, широкий научный кругозор и природные задатки практика-экспериментатора позволили А.М. Будянскому включиться в работу новой для университетской науки технологической лаборатории без адаптации. С начала 1981 года Александр Михайлович – ответственный исполнитель одного из договоров ОНИЛ ДПТП, выполнявшегося с ЦКБМ ПО «Донец» (г. Луганск). Им разработан не имевший аналогов в отечественной промышленности автоматический комплекс анализа и контроля технологических процессов на базе масс-спектрометра МХ-7401 для первой в Украине высокочастотной плазмохимической установки обработки микроструктур, изготовленной для НПО «Сапфир» (г. Москва) луганским КБ. В 1982-83 гг. По результатам технологических испытаний в НИИ Точных технологий и НИИ Точного машиностроения (г. Зеленоград) А.М. Будянским разработан и изготовлен автоматический (приспособленный как к механическим, так и электронным средствам записи и управления) электронный блок для реализации зондовых методик диагностики процессов плазменного микротравления. Впоследствии более десяти модификаций приборов серии «Контроль» сохранили принципиальную электронную «идеологию» А.М. Будянского.

С 1983 года начинается длительный и один из самых плодотворных этапов в научно-технической деятельности А.М. Будянского и лаборатории. Устанавливаются деловые творческие контакты со старейшей отечественной организацией промышленной электроники – НИИ Полупроводниковых приборов и ПО «Электроника» (г. Воронеж). Параллельно закладываются основы новой для лаборатории тематики, в которой, до конца своих дней, А.М. Будянский займет ведущее место – физика высокочастотных индукционного и комбинированного Е-Н-разрядов. И, как это было принято в ОНИЛ ДПТП, на их основе – разработка плазмохимических реакторов нового поколения на базе промышленных установок серии «Плазма-НД». В последующие годы по этой тематике А.М. Будянским было опубликовано более двадцати пяти научных трудов, выполнены разработки, защищенные пятью авторскими свидетельствами СССР, четырьмя патентами Украины и РФ. Имевшие важное народно-хозяйственное значение работы были внедрены, кроме НИИ ПП и ПО «Электроника», в ПО «Сатурн», ПО «Кристалл» (г. Киев), НИИ Вакуумной техники, НИИ Электронной и ионной оптики, НПО «Сапфир» (г. Москва), НИИ ТТ (г. Зеленоград). Особо необходимо отметить серию малоэнергоемких экспериментально-технологических ВЧ-установок «Контур-02», «Контур-04», «Контур-05», явившихся воплощением идей А.М. Будянского и впервые позволивших решить задачи бездефектной обработки материалов группы А3В5.

А.М. Будянский принимал активное участие в становлении тематики Научного физико-технологического центра Министерства образования и науки Украины и НАН Украины, где в 1992-95 гг. руководил выполнением работ по бюджетной тематике, учебного процесса и научной работы на новой кафедре физических технологий ХГУ. С 1993 года он – старший преподаватель, с 1997 – доцент КФТ. В спецкурсах А.М. Будянского глубокое теоретическое обоснование материала соединялось с прозрачной практической целесообразностью поставленных задач, его лабораторные практикумы были неотъемлемой частью научной работы студентов. Подготовил несколько блестящих методических указаний.

В последние годы, наряду с физикой ВЧ-разрядов активно занимался вопросами автоматизации высокочастотных технологических установок, издал ряд обзоров и оригинальных статей, доведя список своих трудов почти до сорока наименований.

Участвовал в разработке межотраслевой программы развития наиболее конкурентоспособных направлений микроэлектроники в Украине, принятой по поручению Президента Украины от 24.06.98 г. №1-14/473 и Кабмина Украины от 30.06.98 г. № 12586/2 (1999–2001 гг.), в которой Харьковский национальный университет является головной организацией по направлению «Новое технологическое оборудование для микроэлектроники».

Идеи А.М. Будянского заложены в возрождаемую в настоящее время кафедрой физических технологий ХНУ и отделом плазменных технологий НФТЦ деятельность в области украинской микроэлектроники. В трагическом для всех нас июне 2002 года подписан договор между ХНУ и Министерством промышленной политики Украины как заказчиком функционального ряда плазмохимических реакторов малоэнергоемкой обработки микро- и наноструктур. Этот договор, как и другие последующие работы, мы будем, к нашей печали, выполнять уже без кандидата технических наук, доцента кафедры физических технологий Харьковского национального университета Будянского Александра Михайловича. Но с памятью о нем как о человеке, преподавателе, ученом.

Био
(некролог в Вестнике ХНУ)